分子篩制氧系統(tǒng)產(chǎn)品氧濃度為93±3%，因此需選用常量氧分析儀設備。氧分析儀多為離子流高精度氧傳感器配合微處理器，測量精度一般都能達到＜1%F.S。根據(jù)YY1468-2016用于醫(yī)療氣體管道系統(tǒng)的氧氣分析儀中的要求“每臺分析儀都應配有低濃度報警功能。每臺氧氣分析儀都應包含溫度和大氣壓的變動補償功能”。確保在90%~100%范圍內(nèi)精確到被檢測值的±1%。在PLC控制系統(tǒng)的觸摸屏HMI界面中，一般會設置氧純度低報警，以及遠程報警的提醒設置；分析儀的精度選型一般也控制在＜1%F.S。

分析原理為：在已穩(wěn)定的ZrO₂兩側(cè)被覆鉑電極，陰極側(cè)用有氣體擴散孔的罩結(jié)合，形成陰極空腔。在一定溫度下，ZrO₂電極兩側(cè)如加一定電壓時，空腔內(nèi)的氧分子在陰極處獲得電子形成氧離子，陽離子通過ZrO₂的氧空位遷移到陽極，放出電子后變成氧分子氣體釋放出來，這種現(xiàn)象被稱為電化學泵，這樣陰極空腔中的氧氣就被ZrO₂電解質(zhì)源源不斷地泵到空腔外，在回路中形成電流。當氧氣摩爾分數(shù)一定時，電壓增加，電流強度隨之增加，當電壓超過某一值時，電流強度達到飽和，這是氧氣通過小孔像陰極空腔內(nèi)擴散受小孔限制的結(jié)果。這個飽和電流被稱為離子電流。它與周邊環(huán)境中的氧氣濃度成正比。

除了在制氧設備中的應用，離子流氧傳感系統(tǒng)還被廣泛應用于醫(yī)療、實驗室、食品行業(yè)、電氣工業(yè)，安全技術(shù)／監(jiān)控等領域。